六甲基二矽烷[(CH3)3SiSi(CH3)3]，縮寫HMDS，主要用於製備三甲基矽基陰離子、三甲基碘矽烷和三甲基矽基鹼金屬鹽及醫藥中間體合成中基團的保護劑。此外，由於富含Si、C元素，在光電子行業和陶瓷行業也有一定的應用，矽烷化保護劑，聚矽烷止鏈劑。