半導體封裝:晶圓背面保護塗層,防護切割與研磨損傷
半導體封裝環節中,晶圓需經過切割、研磨等工藝,將單個晶片分離並薄化(厚度可至 50μm 以下)。傳統晶圓保護材料(如 UV 膠)存在耐熱性差(超 120℃易變形)、殘膠難清洗等問題,可能導致晶片邊緣崩裂、表面汙染。
某半導體封裝企業創新性地將低苯基含量(苯基摩爾分數 15%)的苯基硅油作為晶圓背面保護塗層,配合熱固化工藝形成緻密保護膜。該應用的核心價值在於:
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耐熱與柔韌性平衡:保護膜在 150℃研磨溫度下不變形、不流動,同時具備優異柔韌性(拉伸率 150%),能吸收研磨過程中的機械應力,晶片崩裂率從 3% 降至 0.5%;
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易清洗性:採用常溫有機溶劑(如異丙醇)即可快速去除保護膜,無殘膠殘留,避免後續封裝工序中的焊盤汙染,晶片焊接良率提升 2%;
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低汙染性:苯基硅油純度達 99.999%,金屬雜質(Na、K、Fe 等)含量低於 10ppb,符合半導體封裝的潔淨度要求,不會對晶片電性能產生負面影響。
目前,該方案已應用於手機 SoC 晶片、車載 MCU 的封裝製程,單月處理晶圓量超 5000 片,成為高精密半導體封裝的核心保護技術之一。